二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE FX 200 #9236721 待售

KLA / TENCOR / THERMA-WAVE FX 200
ID: 9236721
晶圓大小: 12"
Film thickness measurement system, 12".
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE FX 200是一種最先進的晶圓測試和計量設備,提供晶圓表面形狀、厚度和地形的精確測量。利用其先進的傳感器和光學系統,可以快速有效地進行這些測量。KLA FX 200實現了「自動晶片剖析」、「三平面切片測量」、「凝視幹涉」等獨特技術,使系統能夠精確分析表面缺陷、晶片曲率等性能,精度高達0.5 nm。此外,TENCOR FX 200配備了自動化晶圓處理單元,使測試和計量過程實現無縫自動化。THERMA-WAVE FX 200包括高級算法,能夠檢測各種類型的表面缺陷和其他異常信號。機器能夠對整個晶片表面進行掃描,以極高的精度準確檢測有吸引力的缺陷,如丘陵、點蝕和晶體錯位。它甚至可以檢測和測量極精細的曲面特征如針孔、有限邊線和其他微妙特征。此外,該工具憑借強大的光學資產和先進的算法,能夠快速高效地進行多次收購。這使客戶能夠以顯著減少的停機時間執行現場實時串聯生產,並提高產品質量。FX 200模型能夠同時進行非接觸和接觸測量。它利用強光源以極高的精度精確測量晶片的表面特征。此外,設備還配備了方便用戶的圖形用戶界面,能夠提供有關晶圓測試和計量的詳細圖形信息。這使得系統易於專業人員和沒有經驗的用戶使用。KLA/TENCOR/THERMA-WAVE FX 200單元是晶圓測試和計量的終極解決方案。它結合了尖端特征和準確的結果,使研究人員和制造商能夠以高效和經濟高效的方式準確、快速地監測和分析晶片。
還沒有評論