二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE FX 200 #9240151 待售
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ID: 9240151
優質的: 2006
Thickness measurement system
Module: User interface
Missing PC
2006 vintage.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE FX 200是一種高端晶圓測試和計量設備，設計用於各種半導體晶圓制造工藝的最大吞吐量和精度。這種先進的系統將四種精密的焊接技術結合在一起：非接觸式光學、接觸式光學、電阻率和剪力，每個都能夠收集有關晶圓的基本數據。KLA FX 200利用現代成像和光學系統、熱電偶、數碼CCD/CMOS（電荷耦合器件或互補金屬氧化物半導體）相機，以及先進的光學器件來最好地分析半導體晶片。TENCOR FX 200需要專門的軟件來操作和編程某些步驟，例如捕獲、顯示和記錄每次晶圓掃描的結果。該軟件采用圖形用戶界面，便於導航和解釋數據。此單元還提供具有完整記錄保存功能的擴展日誌功能。集成的熱電偶測量機可以在嚴格溫度控制的同時對晶片進行可靠的處理。FX 200使用了幾種先進的光學技術來確保精確和精確的檢查。這包括一個用於對整個晶圓進行大規模分析的非接觸式光學工具；用於繪制斑點缺陷的接觸光學資產；和剪力成像,以獲取詳細的地下數據。此外，該模型還采用電阻表測量電阻率和壽命。THERMA-WAVE FX 200設備還提供了許多其他功能來確保最大精度,例如自動缺陷映射、動態特征識別和自動基準測試功能。它還包括一個集成的用戶定義質量控制系統，以驗證數據的準確性和確保晶圓質量。此外，KLA/TENCOR/THERMA-WAVE FX 200能夠進行即時視頻測量，以創建晶圓表面和制造過程的數字視頻。總體而言,KLA FX 200是一個先進的晶圓測試和計量單元,旨在優化半導體制造過程中的產量、吞吐量和精度。這種綜合的機器擁有強大的集成技術和軟件，以確保嚴格的檢驗和質量控制。
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