二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE J-109 #9209398 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE J-109是一種最先進的晶圓測試和計量設備,設計用於快速精確地測量半導體芯片的電氣和物理特性。該系統基於KLA專利的Tensor產品線和TENCOR離軸離子束蝕刻（OAIBE）技術。該裝置有能力檢查尺寸達200毫米的晶片，並能以高達10納米的分辨率測量電阻和電容等電氣參數。該機器的OAIBE能力使其能夠分析包含溝槽和通風孔的晶片，並測量到10nm以下的深度。對於物理屬性,KLA J-109能夠以100 nm分辨率測量關鍵尺寸,如線寬、柵極長度和接觸尺寸。通過其8nm激光幹涉儀和14位CCD相機等先進硬件功能,以及光束變形補償和多軸掃描等先進功能,使TENCOR J-109的測量精度和可重復性成為可能。這些功能的組合確保了非常精確、可重復和可靠的結果。該工具旨在方便操作員和維修人員使用。用戶友好的圖形用戶界面提供對一系列有用功能的訪問,如配方向導、配方共享和參數優化。維護人員可以使用一系列工具,例如基於Web的維護門戶、遠程維護門戶和技術人員的工具箱。J-109是為廣泛的晶圓檢驗和計量應用而設計的通用資產。它可以用於新工藝的研發、生產工藝的監測以及缺陷產品的檢測和隔離。該型號的大容量（高達200毫米晶圓）和高分辨率（降至10nm）的能力使其能夠用於包括IC制造、包裝和測試、印刷電路板和晶圓印刷在內的廣泛行業。總體而言，THERMA-WAVE J-109是一種高度先進但用戶友好的晶圓測試和計量設備，設計用於快速精確地測量半導體芯片的電氣和物理特性。其大容量（高達200毫米晶圓）、高分辨率（降至10nm）以及先進的硬件和軟件功能，使其成為廣泛的晶圓檢驗和計量應用的理想選擇。