二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OP 2600 DUV #9214772 待售

ID: 9214772
Thickness measurement system.
KLA OP 2600深紫外線(DUV)光學剖面儀是一種晶圓測試和計量設備,設計用於測量光電器件的臨界表面特性。它具有高分辨率的自動化光學系統,可生成範圍廣泛的表面測量,精度高達0.5nm,可重復性為0.2nm。該單元使用激光掃描顯微鏡、功能強大的軟件,以及先進的TENCOR顯微鏡階段,提供被測設備表面的精確視圖。KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OP 2600 DUV的分辨率高達3µm,視野高達600µm。這臺機器提供明場成像和暗場掃描,可用於測量多放大倍數的表面地形。顯微鏡可通過可變照明設置測量小特征和大特征。此外,KLA OP 2600 DUV具有三維輪廓映射功能,可精確測量傳統顯微鏡通常無法訪問的尺寸和特征。除了先進的顯微鏡能力外,TENCOR OP 2600 DUV光學剖面儀還能夠摻雜隔離測量和電流-電壓曲線、發射光譜、接觸電阻等電氣性能測量。它還提供了多種附加功能,包括光學計量以及納米級設備和特性的表征。THERMA-WAVE OP 2600 DUV工具設計直觀易用。其直觀的用戶界面允許控制其所有功能。它的大型觸摸屏顯示屏允許您快速輕松地訪問資產的所有功能。此外,該模型還附有全面的用戶手冊和應用程序庫,以確保快速、可靠的使用。OP 2600 DUV光學剖面儀是一種經濟高效且用途廣泛的晶圓測試和計量設備。它提供了正在測試的設備的全面視圖,並實現了可靠的性能測量。該系統強大的軟件功能、先進的光學單元和用戶友好的界面,將其定位為測試光電行業使用的設備範圍的有力工具。
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