二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OP 2600 #293634793 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OP 2600是一種晶圓測試和計量設備，主要設計用於半導體工業。該系統在多達12個晶圓站點上同時提供計量測量,從而在很小的占地面積內實現最大吞吐量。該裝置能夠進行廣泛的測量，包括階梯輪廓、線路掃描、漏電、電容和電阻率。機器的軟件用戶友好，允許定制屏幕，使其易於設置和使用。KLA OP 2600與KLA 2D檢測軟件集成，進一步提供了優越的數據收集和分析能力。此外,該工具的設計符合行業標準的質量流程,使其適合用於前端和後端生產流程。該資產由TENCOR高速FlexTech檢測模型提供動力，該模型利用一個獲得專利的基於激光的平臺來精確檢測晶圓的特征和缺陷。這使設備能夠測量小至25納米的特征。該系統還配備了6點光學探測器和精密顯微鏡，以確保測量的準確性。該單元每個周期容量為12個150毫米晶圓，並裝有一個通用的，啟用了編子的機器人，以獲得額外的靈活性。此外，機器人還配備了12個獨立的電子計數通道，可實現晶圓的最大吞吐量。此外,該機器還配備了多種自動化功能,包括自動晶圓驗證、焦點識別、對準和自動重新掃描功能。它與一系列計量技術兼容，包括晶圓收縮、CD/CD變體和Focus/NPDF。該工具的軟件旨在通過集成流程優化工具和提供有關流程有效性的實時反饋來增強流程控制並縮短上市時間。此外,該資產的設計非常靈活,可提供多種3D映像選項,並與各種其他軟件包集成。總體而言，TENCOR OP 2600為晶圓測試和計量提供了完整的解決方案。其用戶友好、可定制的軟件提供了易於設置的平臺,而其先進的檢測模型和廣泛的自動化功能確保了精確可靠的結果。