二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OP 2600 #293649607 待售

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ID: 293649607
Film thickness measurement system.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OP 2600是一種晶圓測試和計量設備,能夠進行快速的汽車和設備資格測試。它旨在檢測和識別各種半導體晶片中的缺陷,以及對它們進行詳細的測量和分析。該系統由光學透鏡陣列、雙傅立葉分析和數字圖像相關技術組成,允許在納米級對晶片進行更快、更精確的檢測。KLA OP 2600的光學鏡頭陣列經過優化,可以工作和測量薄層,厚度可達0.5至20微米。這樣可以確保即使是最小的缺陷也能以極高的精度被檢測到。然後,該單元的雙傅立葉分析和數字圖像相關技術允許在實時和離線模式下進行測量。這為用戶提供了快速、可靠地決定晶圓性能和質量的能力。機器的高級成像能力也為用戶提供了準確創建整體設備一致性評估的能力。這是通過將測量結果與客戶規範進行比較來完成的。TENCOR OP 2600還具有自動化的鑒定/測量設置,並且可以在短短五分鐘內設置特定的測試。此自動化測試過程有助於提高吞吐量、縮短周期時間並導致流程改進。該工具還具有專有的晶圓吞吐量計算算法,可自動估計晶圓周期時間、打印計數和基板。這有助於確保正確的生產過程和減少錯誤造成的浪費。THERMA-WAVE OP 2600還帶有自動缺陷識別和分類功能,有助於減少初始缺陷調查所花費的時間,最大限度地減少誤報。這也有助於加快目視檢查,更準確地診斷晶片。總體而言,OP 2600是一種功能強大的晶圓測試和計量資產,可提供高分辨率、高精度的薄層設備測量和分析。其光學透鏡陣列、雙傅立葉分析、數字圖像相關技術使高速、可靠的檢測和測量高分辨率細節成為可能。此外,它的自動化測試功能有助於提高吞吐量、縮短周期時間並提高整個流程的性能。
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