二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OP 2600 #293766853 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OP 2600是一種晶圓測試和計量設備。該系統旨在分析產品晶片和監控過程。它提供了光學輪廓測量、散射測量和掃描電子顯微鏡（SEM）的組合。KLA OP 2600的光學輪廓測量利用紅外光束光學單元從任何入射角度獲取3D地形測量。此數據用於生成高分辨率拓撲圖像和定量配置文件。該機可精確測量粗糙度、步高、晶粒尺寸等表面特性。TENCOR OP 2600的散射測量模塊是為晶圓等物體的光學外觀表征而設計的。該工具具有出色的光度精度，對於關鍵性能評價至關重要。它提供了對角度、顏色、圖案缺陷、劃痕、霧霾等表面缺陷的精確測量。THERMA-WAVE OP 2600的掃描電子顯微鏡模塊提供微量成像和分析。其電子光學資產提高了圖像分辨率和細節。該模塊可用於測量晶粒尺寸、顆粒汙染和孔隙度。它還允許用戶在上端和橫截面模式下檢查晶片的3-D曲面。OP 2600也有減少空氣汙染的低排放模式。它允許長時間不間斷的操作,而無需為維護或凈化而關閉。該設備還具有直觀的軟件，允許操作員以最短的啟動時間快速通過不同的測試和測量程序。總體而言，KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OP 2600是一個功能強大、用途廣泛的晶圓測試和計量系統。它結合了光學輪廓法、散射法和掃描電子顯微鏡，可以對晶圓表面進行精確、詳細的分析。其低排放單元和直觀的軟件可在最短的停機時間內實現長時間高效的操作。