二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OP 2600 #293820412 待售
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ID: 293820412
晶圓大小: 6"-8"
優質的: 1997
Film thickness measurement system, 6"-8"
Measurement tool: BPR, BPE, VAS
SBC Board, CPU Pentium III 600 MHz
COGNEX 3000 Vision system
Robot
ESC200 Controller
1997 vintage.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OP 2600晶片測試計量設備是為晶片分析表征而設計的集成計量平臺。它由計量子系統和測試子系統兩個主要組成部分組成。計量子系統采用CCD立體顯微鏡，用於收集和分析模具級圖像。它配備了自動聚焦系統、自動校準單元和圖像處理機。利用先進的模式識別算法對CCD輸出進行了分析，確定了模具高度、切割位置、模具傾斜度等相關參數。測試子系統由熱測量工具和自動泄漏檢測資產組成。熱測量模型通過向晶片發送低功率紅外光束和測量發射的熱能來測量晶片的熱導率。自動泄漏檢測設備設計用於檢測晶圓表面的裂縫或其他故障。它利用高速掃描激光器掃描晶圓的整個表面並檢測任何故障。總體而言，KLA OP 2600晶圓測試和計量系統是晶圓分析和表征的強大而可靠的平臺。它通過自動聚焦和校準系統、模式識別算法以及熱測量和自動泄漏檢測系統提供了高精度和高精度。通過這個平臺，操作員能夠用一個集成的計量單元快速準確地分析和表征各種晶圓類型。
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