二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OP 2600 #9130299 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OP 2600是一種前沿晶片測試和計量設備，用於測量、分析和評估半導體晶片的電氣、物理和制造缺陷。該系統支持廣泛的研發工作，包括先進的光刻和統計過程控制。KLA OP 2600單元是一個全自動的光學計量平臺，能夠測量二維和三維結構。它提供了優於以前型號的計量精度、速度和可靠性,從而實現了比以往更高的測量精度和可靠性。TENCOR OP 2600機器提供先進的掩碼和標線性能監控,能夠快速準確地測量密集和孤立的特征。它還提供集成的Sub-Micron晶圓檢測能力，以確保生產出近乎完美的晶圓。該刀具可測量線寬到0.03微米，速度和精度無與倫比。此外，THERMA-WAVE OP 2600能檢測尖端和線寬缺陷，速度和精度都很高。高級模具功能允許進行全晶圓圖像分析,從而可以更快、更準確地分析各種掩碼和標線。該資產還提供集成的光學頻域反射計（OFDR）,用於測量物理和電氣缺陷。OP 2600的OFDR模塊可以檢測到低至0.2微米分辨率的缺陷，從而能夠識別和量化微米級缺陷。此外,該模型還具有高級功能,如2D和3D映射、自動邊緣和陣列識別以及用於數據分析的類似CAD的編輯。KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OP 2600設備能夠執行一系列晶圓級計量任務，如線寬計量、叠加計量、缺陷檢測檢驗、3D表征等。這種性能水平在需要高度精確度的生產環境中特別有用。該系統旨在支持統計過程控制，允許每個晶片的完全可追蹤性。這種高精度和吞吐量為半導體行業提供了無與倫比的優勢。總體而言，KLA OP 2600單元是一臺先進的晶圓測試和計量機器，為測量、分析和評估半導體晶圓提供無與倫比的速度和精度。該工具的高級模具功能、靈活的解決方案集以及出色的計量精度,為從研發到生產環境的所有方面提供了卓越的解決方案。