二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OP 2600 #9212477 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OP 2600是一種晶圓測試和計量設備，以單一的集成封裝提供全面的計量測量。該系統利用X射線、光學和激光技術，對不同制造階段的半導體晶片進行精確檢測和測量。KLA OP 2600具有大型自動化測量室，為精確和可重現的測量結果提供穩定的測量環境。該單元利用激光驅動的光學投影來讀取和比較定義晶圓上關鍵特征和光掩模的參數和詳細尺寸。此外，該機利用X射線檢測技術獲取晶圓表面的高分辨率圖像，以詳細評估表面光潔度、形狀、特征尺寸和表面清潔度等特性。這種設備非常適合用於半導體制造過程，因為它在各種晶圓尺寸上提供了快速和全面的芯片測量和測試能力。通過增加激光掃描顯微鏡、掃描電子顯微鏡和原子力顯微鏡功能，這一工具被設計為易於擴展。內置軟件功能包括數據處理、缺陷識別、測量和比較。TENCOR OP 2600具有直觀的圖形用戶界面（GUI），可用於快速、輕松地生成被檢查晶圓的3D圖像。GUI還提供分析和數據輸出,以協助質量控制和研究活動。該資產符合晶圓測試和計量行業的最高ISO標準,面向希望進行自動化和精確計量的客戶。幾十年來，THERMA-WAVE OP 2600一直是一系列半導體制造工藝質量控制的基準。該模型利用最新的激光和X射線技術提供了卓越的計量精度和重復性。利用這種設備，客戶可以獲得可重復和可靠的測量結果，同時大大減少晶圓檢驗和計量所需的時間和成本。