二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OP 2600 #9214770 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OP 2600是一種晶圓測試和計量設備，能夠在半導體器件上進行臨界測量。這種高度精確的系統用於研究和開發下一代芯片和集成電路。它利用兩種光學器件測量晶片，包括自動掃描光學顯微鏡（ASOM）和白光幹涉儀（WLI）。ASOM能夠產生半導體器件表面的2D輪廓圖像和3D地形圖。它具有高達1 nm的高分辨率,同時還能夠區分垂直高度小至10 nm的特征,從而實現高精度和精確度。WLI是一種依靠反射光幹涉來創建曲面3 D映射的成像技術。它還能夠揭示在光學顯微鏡下看不到的微觀特征和表面粗糙度的三維形狀。WLI的分辨率為40nm,可用於測量0.2nm-2.0nm之間的粗糙度。KLA OP 2600由ProgRScan程序供電，ProgRScan程序是專門為晶圓和設備研究而設計的軟件包。它能夠控制和同步ASOM和WLI,並集成了特征識別、參數測量和數據分析等幾個功能。它還允許不同的分析方法，如回歸分析、直方圖分析和主成分分析。此軟件設計為用戶友好,允許將結果輕松導出到制造商生產線中的其他過程中。TENCOR OP 2600單元也是全自動的，允許大幅增加測試吞吐量，同時也提供可重復的結果，而不需要用戶的努力。使用此機器的自動化流程還有助於減少與手動流程相關的錯誤。此外,它還能夠顯著減少周轉時間和操作成本,例如設備開發和生產測試。總體而言，THERMA-WAVE OP 2600晶圓測試和計量工具為設備和半導體研發提供高精度測量。它能夠可靠地以很高的分辨率測量晶片，提供開發前沿芯片和集成電路所需的精度和細節。此外,它的自動化流程有助於減少錯誤、減少周轉時間和提高盈利能力。