二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OP 2600 #9250104 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OP 2600是一種晶圓測試和計量設備，用於矽片的表征。該系統設計用於測量單個晶片的厚度、折射率、介電常數和其他參數。它能夠在單個過程中測量150 mm和200 mm晶片,減少周期時間並減少維護停機時間。KLA OP 2600支持折射率、厚度、側壁、厚度均勻性、介電常數、粘附膜水平、屏障層均勻性、平整度、基板質量、反射率、粗糙度等多種測量。這些測量是在可變頻率和角度上執行的,從而可以獲得更廣泛的表征結果。此外，該單元還配備了各種自動補償技術，以實現恒定的可重復性和精確度。該機器能夠同時處理多達四個晶片，溫度從室溫到500 °C不等。它包括一個加熱的階段，允許測量高達500 °C的溫度。該工具還支持實時數據采集、分析、診斷和控制功能,從而實現更高效和優化的流程。該資產還包括激光幹涉測量，一個精確的方法來測量晶圓的光學厚度。TENCOR OP 2600包含錯誤檢查工具,並提供可定制的預後處理軟件,以幫助加快生產時間。該型號配備了自動校準站，確保了準確性和可重復性，並消除了手動校準步驟。此外，設備還包括操作員控制臺和光條圖，以便向用戶提供反饋。總體而言，THERMA-WAVE OP 2600是一種功能強大的晶圓測試和計量系統，使專業人士能夠在單個晶圓上快速準確地測量各種參數。其多功能性、準確性和可重復性使其成為矽片表征的寶貴可靠工具。