二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OP 2600B #293824935 待售

ID: 293824935
Film thickness measurement system.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OP 2600B晶片測試和計量設備旨在快速、準確地測量矽片的各種物理和結構特性。其中包括先進的集成光學和電容傳感器,使用戶能夠以卓越的精度和精確度測量多個參數。KLA OP 2600B是由先進的晶圓級與多位置電動機車廂結合而成。這種組合創造了一種混合設計,能夠在測量晶片特性的同時快速準確地在晶片上移動。該系統還配備了先進的晶圓映射軟件,允許操作員快速繪制結果圖,以便得出有意義的結論。除了先進的晶片級之外,TENCOR OP 2600B還具有包括高分辨率成像單元的先進光學站。這個光學站允許操作員精確檢查晶圓表面,進行多角度測量,並評估制造後結構的性能。THERMA-WAVE OP 2600B配備了強大的測量機,可以調整以測量廣泛的參數。它能夠分析晶片缺陷、地形、過度/底切深度、機械摻雜、分數奇偶層變化、蝕刻深度、摻雜均勻性等。它還可以配置一系列個性化工具,使其能夠測量各種測量值,例如非接觸電導率、接觸電阻和壓降。為了提高精度和精度,OP 2600B還包括一個可以在單個特征上測量地形的3D剖面儀、一個可以在整個晶圓表面測量特征陣列的多區域計量工具以及一個粒度結構測量工具。KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OP 2600B具有強大的測量能力、先進的光學設備和數據收集功能,是一種有效可靠的質量控制和晶圓測試解決方案。這使質量保證工程師和工藝工程師能夠保持最高水平的質量控制和制造產量。
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