二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600 DUV #9200133 待售

KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600 DUV
ID: 9200133
Thickness measurement system.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600 DUV是一種晶圓測試和計量設備,設計用於先進的深紫外線(DUV)成像和檢查。它為領先的半導體器件生產提供了改進的工藝控制、產量和上市時間。KLA OPTIBE 2600 DUV系統將先進的光學元件與全反射、遙感成像和光譜顯微鏡單元結合在一起,使其具有高分辨率、高通量、高於平均動態範圍的組合。這為難以成像的應用提供了卓越的圖像質量和動態範圍,例如需要低級檢查和叠加的應用。該機還配備了先進的光學工程包,在飛行箱底座上提供高性能光學。它具有快速設置和快速轉換的低振動設計、優化的光路以及先進的多軸定位工具。資產還包含一些先進的計量能力,旨在最大限度地提高過程控制和產量改進。它包括:自動化晶圓計量學,可與全場系統相媲美,但由於其一系列的過程監測器而具有更強的多功能性。本地化計量,使計量操作的目標區域的晶圓提高精度和速度。動態焦點跟蹤算法,提供了更好的圖像質量,提高了設備特性的精度。一種集成的高性能成像,便於在模型和其他分析工具之間傳輸圖像,以進一步分辨率和清晰度。TENCOR OPTIBE PROBE 2600DUV設備是先進的DUV成像和檢查的理想解決方案,可提供高效的處理,幫助實現關鍵半導體應用的最大產量和上市時間。它為各種流程提供卓越的圖像質量和動態範圍以及先進的計量功能,並且是確保質量、產量和成本效益的強大工具。
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