二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600 DUV #9212839 待售
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ID: 9212839
晶圓大小: 8"
優質的: 1996
Thickness measurement system, 8"
Upgraded SBC to Pentium III 600 MHz
Measurement tool: BPR, BPE, VAS + DUV
1996 vintage.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600 DUV是為先進的半導體器件研究和制造而設計的晶圓測試和計量設備。這種先進的系統利用先進的光學技術在制造過程中檢查和分析晶片。它提供了晶圓表面上介電厚度、地形和其他詳細結構的精確測量。KLA OPTIBE 2600 DUV是一款高度集成的設備,具有高效、緊湊的占地面積,非常適合清潔空間和生產線環境。它配備了動態聚焦光學器件和自動運輸機,可以快速、準確地進行測量。該工具還采用了專有專利的集成成像檢測器技術,以記錄速度捕獲高分辨率圖像。該資產支持與晶圓表面計量有關的廣泛應用,包括無損介電厚度、地形、光學常數、殘余厚度、表面粗糙度、地理度量參數、薄膜應力和3D線/空間形態測量。它提供重要的反饋,幫助工程師和產品經理識別制造問題並及時解決這些問題。TENCOR OPTIBE PROBE 2600DUV是第一個支持極端紫外線(EUV)光刻測量的模型,使其成為先進半導體器件研究和制造不可或缺的工具。它設計有一個自動校準設備,利用激光幹涉測量和人工制品樣品,以確保可靠和可重復的測量。這個頂級系統能夠以最高的速度和精度進行復雜的測量,使其成為現代半導體器件研究和生產過程中必不可少的工具。OPTIPROBE 2600 DUV是生產峰值性能半導體產品的理想解決方案。
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