二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Optiprobe 2600 #293671329 待售

ID: 293671329
Film thickness measurement system.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 2600晶圓測試和計量設備是一種可靠、先進的晶圓測試和計量系統,旨在監測和控制半導體制造過程。KLA Optiprobe 2600配備了先進的光學成像單元,使其能夠以高分辨率和準確度分析晶片。先進的光學成像機具有多種方法,如點檢查、表面成像、激光映射和粒子測量,以表征特征大小、層厚度和表面粗糙度。TENCOR Optiprobe 2600生成的晶圓圖包括晶圓不同特性的匯總視圖,以及每個單元單獨測量的不同顯示。測量結果的顯示使用戶能夠快速識別晶圓不同部分之間的性能變化區域。為了進一步確保晶片的質量和均勻性,THERMA-WAVE Optiprobe 2600包含了強大的數據分析軟件包。這個數據分析軟件提供了一套綜合工具來分析晶圓圖,用於檢測異常、汙染和過程轉移。該軟件包還支持多種文件格式,使用戶能夠輕松地合並外部過程控制參數和分析。Optiprobe 2600還與一系列掃描電子顯微鏡(SEM)兼容,用於高級工藝監控。KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 2600與SEMs的結合被稱為SPM(掃描探針顯微鏡),提供了半導體制造過程中表面紋理的最高分辨率測量。除了提供一套全面的測試分析工具外,KLA Optiprobe 2600也是一個易於使用的工具。圖形用戶界面直觀,允許快速訪問不同的測量顯示。這使得用戶可以輕松快速診斷生產異常並采取糾正措施。TENCOR Optiprobe 2600是一項可靠、先進的晶圓測試和計量資產,使半導體制造商更容易監控生產過程並確保最優質的產品。THERMA-WAVE Optiprobe 2600具有光學成像模型、數據分析功能以及與SEM的兼容性,為監測晶圓制造過程提供了一種有效的方法。
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