二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Optiprobe 2600 #293828327 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 2600是一款晶圓測試和計量設備，旨在滿足當今半導體行業的測試和計量要求。該系統結合了光學、掃描電子顯微鏡（SEM）和熱分析這三項主要技術中的最佳技術,為半導體晶片和矽器件的測試和表征提供了全面的解決方案。KLA Optiprobe 2600采用了獲得專利的雙選項顯微鏡設計，使得在光學和電子顯微鏡研究之間進行切換成為可能。這允許用戶執行全晶片測試和多個模具分析，包括故障分析和缺陷分類。該設備配備了先進的光學顯微鏡，可提供高達4K的圖像分辨率，並且在自動檢查和分析大小特征方面具有出色的靈活性，而無需手動調整顯微鏡。該機還可用於測量模模對準，允許跨晶片保持精確對準，以及高通量異常檢查和高精度宏微縮放。TENCOR Optiprobe 2600先進的SEM可以達到5 nm的分辨率，捕獲缺陷的高分辨率圖像和3D表面地形。此外,SEM還具有電壓、電流和級定位控制功能,允許進行表面映射、成像和脈沖測量。該工具還具有用於表征半導體器件特性的專有熱分析控制器。這一資產可達到0.06°K的精度,並可在-150至+300°C的溫度範圍內提供功率和熱特性的數據采集功能。這三種先進技術的結合使THERMA-WAVE Optiprobe 2600成為晶圓測試和計量的理想工具。該模型提供了可靠且可重復的器件性能測量以及由此產生的模具級和晶片級產量提高計劃。