二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Optiprobe 2600 #9257351 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 2600是一種先進的晶圓測試和計量設備，能夠對半導體器件進行高精度測量。KLA Optiprobe 2600提供半導體晶圓和模具級特性的實時、邊到邊計量。該系統具有8英寸的chucky級,可容納200毫米晶圓。其光學散射法采用幹燥技術，加上獨特的化學清洗方法，不需要液體浸泡裝置。TENCOR Optiprobe 2600包括一個級控制器，用於精確控制晶圓在x、y、z軸的運動。它還采用了高分辨率映射模式，能夠進行極其詳細的測量。集成成像機為優越的光學設備提供照明、亮場、暗場和傾斜成像能力。該成像儀提供1300萬像素的分辨率和大於1微米的像素,用於詳細的成像結果。THERMA-WAVE Optiprobe 2600具有「智能」軟件包,可自動執行工具校準的優化、測試參數的優化以及功能的實時對齊。此工具還使用戶可以訪問歷史數據和報告,以及實時數據可視化。高級數據分析功能使用戶能夠準確確定與特征大小、形狀和位置相關的過程性能。Optiprobe 2600是需要高性能、高精度和卓越可重復性的用戶的理想計量和測量資產。該模型提供了可靠的測量結果，具有高度的可重復性。此外，可以容納各種各樣的晶圓尺寸和化學塗層，使這種設備適合各種應用。KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 2600具有先進的自動化能力、最小化的人工幹預時間和直觀的軟件操作,是半導體晶圓測試和計量操作的絕佳選擇。