二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Optiprobe 2600 #9364392 待售
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KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 2600是一種最先進的晶圓測試和計量設備,提供最先進的晶圓分析和測量能力。KLA Optiprobe 2600使用獲得專利的激光技術，對直徑從100毫米到300毫米不等的半導體晶片進行精確、非接觸的測量和分析。有了各種各樣的測試和測量，系統允許用戶在特性、晶體管和集成電路級別檢查每個晶片。板載激光技術使TENCOR Optiprobe 2600能夠檢測廣泛的表面特征，包括晶圓缺陷、粒子汙染物、電阻率、表面粗糙度和電性能。這種原位分析使用戶能夠快速準確地識別對晶圓制造至關重要的工藝參數。此外，該單元還讓用戶在工藝開發或故障排除過程中確定柵極氧化物的厚度、接觸金屬化、光刻膠層等材料。Optiprobe 2600配備了一個軟件控制的掃描頭，可以以各種模式在晶片上移動激光，允許用戶精確地沿著復雜的路徑穿過晶片表面，測量詳細的特征級參數。它的高分辨率照相機也使用戶能夠對晶圓表面進行精確的視覺檢查。這種測量和成像功能的結合使THERMA-WAVE Optiprobe 2600成為過程開發、產量優化和晶圓表征的寶貴工具。KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 2600在緊湊、易於使用的平臺中提供頂級晶圓測試和計量功能。它旨在滿足對準確性和可靠性的嚴格要求,使其成為質量保證、過程監控和降低成本計劃的理想選擇。KLA Optiprobe 2600具有廣泛的特性和功能,是當今最先進的半導體制造操作的理想晶圓測試和計量解決方案。
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