二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B #9200135 待售

KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B
ID: 9200135
Film thickness measurement system.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B是一種晶圓測試和計量設備,設計用於最高精度的半導體測試和自動化計量。它結合了視頻和光學等多種技術,以精確測量半導體晶片及其相關元件的特性。該系統還具有執行無損評估的能力,這意味著正在測試的晶圓在過程中沒有損壞。該單位的OptiFlex架構可以適應客戶需求;它可以配置超過15個不同的模塊,從高分辨率視頻檢查到電氣缺陷的微處理。KLA OPTIPROBE 2600B的擴展場視頻機可實現高達100X的放大倍率,從而提供納米級晶圓特性的高分辨率成像和橫截面分析。它還可以繪制和識別腐蝕、種子、小顆粒、液體、裂紋、顛簸以及設備的特性,包括基於缺陷的檢查和3D形狀測量等多種應用。TENCOR OPTIBE PROBE 2600B能夠測量晶圓上器件的電性能以及厚度等物理特性。其高精度光學技術可實現高達一納米的分辨率,具有可重復的測量,不會影響晶圓的完整性和質量。此外,該工具能夠快速將測量數據與工程圖紙和晶圓上的「指紋」進行比較,以識別任何差異。該資產還提供了自動化的表面輪廓測量,它提供了高分辨率的表面測量功能來捕獲高度和形狀。這可用於監控晶片生產過程,幫助提高效率並確保設備滿足關鍵尺寸和形狀要求。對於測試和數據分析,模型配備了KLA WAVE地圖軟件,這是一套集成的計量軟件工具。這提供了易於使用的功能來分析收集的數據並創建測量報告。這些報告是質量控制過程中必不可少的一部分,用於對一批晶片做出決策,並確保它們符合設計和性能規格。此外,該設備還提供完整的數據控制和配置功能,使用戶能夠輕松更改測試頻率和測量範圍等系統參數。這允許進行自定義測試和數據生成活動,從而使該單元能夠用於研究和開發。總之,THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B是一種功能強大的晶圓測試和計量機器,結合了多種技術進行高精度半導體測試。該工具具有廣泛的可自定義模塊和集成軟件,以及數據控制和配置選項,是生產質量控制和產品開發的寶貴工具。
還沒有評論