二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Optiprobe 2690 #9395501 待售

KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Optiprobe 2690
ID: 9395501
晶圓大小: 8"
Film thickness measurement system, 8".
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 2690是為現代半導體制造設施設計的最先進的晶圓測試和計量設備。KLA Optiprobe 2690配備了一系列的測量和分析功能,提供了一個全面的解決方案,可以準確高效地檢查和分析薄膜結構和工藝的各種特征。該系統采用熱電(TE)和光光(PO)計量技術,獲取關於半導體器件的地形、組成、薄膜厚度和其他關鍵特性的精確數據。TENCOR Optiprobe 2690配備了集成的TE探針,可實現自動晶圓映射和成像,實現各種結構的高分辨率顯微成像。這種高精度的制圖和成像通過熱電測量單元、光學剖面儀和全套自動化軟件應用程序包的集成得到進一步增強。Optiprobe 2690與一套分析工具集成在一起,可提供有關各種關鍵薄膜工藝的信息。這些過程包括:薄膜厚度、地形、蝕刻速率、滲透深度和摻雜劑分布。此外,這臺機器還提供了可靠的診斷和表征技術,以支持精確的生產結果。此外,還指定THERMA-WAVE Optiprobe 2690包括一系列高級控制功能,包括手動和自動電機控制、XYZ自動調平和Wafer ID自動加載。該工具還包含一個組件分析資產(CAS),通過使用適當的探頭和測試信號,便於確定重要的功能參數,如電流和電壓泄漏。該車型進一步配備了各種樣品操縱和溫度管理能力。KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 2690專為效率和多功能性而設計,為解決半導體制造業不斷變化的挑戰提供了經濟的解決方案。自動化和集成的KLA Optiprobe 2690是可靠的晶圓測試和計量設備,可確保精度和最佳結果。
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