二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Optiprobe 5300P #293632855 待售

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ID: 293632855
Film thickness measurement system.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 5300P是一種晶圓測試和計量設備,用於一系列精密電子應用。它是一個最先進的自動化、完全計算機化的系統,能夠對電子設備結構和參數進行精確和可靠的測量。KLA Optiprobe 5300P為各種應用程序提供了精確、可靠和準確的獨特組合。它非常適合收集有關半導體器件的布局、觸點、通函和其他尺寸的信息。此外,該單元還具有強大而靈活的平臺,能夠測量均勻性、層厚度、遮罩圖案形狀和線寬等各種特征。該機器配備了兩個先進的光學系統,用於執行一系列自動測量。這些包括掃描電子顯微鏡(SEM)、激光幹涉測量、激光衍射和激光感應熱成像(LITI)。此外,該工具還具有可選的視線成像資產(LOSIS),能夠以超高精度分辨率執行自動測量。為了確保可靠和可重復的結果,TENCOR Optiprobe 5300P包括一套數據采集組件。控制器單元由一個高端圖形處理單元(GPU)和一個單獨的數字信號處理器(DSP)組成。GPU和DSP都進行了優化,以有效地計算滿足嚴格測量公差所需的復雜算法。這樣可以確保快速可靠的圖像和數據處理。Optiprobe 5300P還包括一系列探測技術,這些技術旨在提供最精確的精確測量。這些技術包括熱成像、接觸模式、掃描離子顯微鏡(SIM)和渦流測量。THERMA-WAVE Optiprobe 5300P還具有直觀的用戶界面,便於設置和操作。它能夠準確可靠地校準和例行測量設備參數,如高電容或低電容和電容電壓比。這為用戶提供了根據其特定應用需求快速調整和收集精確數據的便利和靈活性。KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 5300P為一系列應用提供了高精度和可靠的結果。它為精確和可重復測量設備參數和布局提供了卓越的性能。該模型適用於所有需要精確和精確測量能力的商家。
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