二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Optiprobe 5340 #293814729 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 5340是一種最先進的晶圓測試和計量設備，用於提供各種晶圓類型和材料的高精度和高精度表征。5340是一個自動化系統，可以在微米和納米尺度上分析和測量各種晶片上的特征。該單元由光學顯微鏡和計算機控制的采樣臺組成，用於進行各種自動化分析，包括光學、電氣和化學測量。光學顯微鏡有一個大的物鏡，可以進行超高分辨率成像，並且能夠檢查較小的特征尺寸，如可尋址記憶細胞或集成電路。計算機控制的采樣級可實現晶片和測量頭在所有三個維度上的自動移動,從而能夠對復雜幾何形狀進行精確和可重復的晶片級分析。5340配備了多種探測器，包括CCD相機和光譜儀，可用於分析表面特征、材料和其他重要特征。該機器還有各種專門的軟件機構，可實現數據文件的自動對齊、縫合和測量以及其他任務。此外，該工具還提供各種集成和接口選項，允許與其他系統連接，從而能夠與外部數據源共享和分析數據。KLA Optiprobe 5340憑借其先進的機構、精度、準確性和功能,為各種應用提供業界領先的測試和計量性能。該資產能夠對納米和微米級特征進行復雜、自動化和可重復的晶圓級分析。該模型非常適合關鍵的晶圓表征和測試應用，如半導體故障分析、過程監控、集成電路測試和缺陷定位。