二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Optiprobe 5340 #9399017 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 5340是一種晶圓測試和計量設備，設計用於高精度、通量和靈活性。該系統為高級計量和缺陷檢測應用程序提供一流的性能。它能夠實現晶片與晶片的自動對準和非接觸、大場光學成像,提供每個晶片表面的無損視圖,以便識別缺陷、分析和測量關鍵特性。KLA Optiprobe 5340配備了先進的計量階段，提供快速、精確的晶圓對準和高精度掃描。該單元允許對多個基板進行預對準，從而可以在盡可能短的時間內創建整個晶圓的映射。該機器還配備了多種測試和測量儀器，包括光學顯微鏡、CCD相機和光譜儀，用於先進的晶圓制圖和分析。TENCOR Optiprobe 5340的光學平臺為成像、缺陷檢測和映射提供了無與倫比的性能。多色成像技術用於快速、精確的晶圓映射和特征表征。與傳統系統相比，高分辨率濾波器和顯微鏡的分辨率提高了30倍，可以對每個晶片進行詳細的檢查和分析。該工具還具有先進的熱檢資產，提供快速、非接觸式紅外成像。可以使用各種熱探針和透鏡來檢查每個晶片，從而實現快速缺陷定位和分析。最後，THERMA-WAVE Optiprobe 5340的自動化計量模型包含了一系列用於晶圓比較和分析的軟件算法。復雜的算法用於快速、準確地識別給定晶片中的常見缺陷,並可以查明可能需要進一步檢查的可疑缺陷區域。通過提供對復雜缺陷分析算法的訪問,Optiprobe 5340非常適合復雜的計量和驗證任務。