二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Spectra FX 200 #293652610 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Spectra FX 200是一種晶圓測試和計量設備，結合了精確、高速的晶圓掃描和專用的計量工具。它利用先進的CCD傳感器在其光學系統中確保精確的晶圓掃描，並設計用於200毫米（8英寸）和300毫米（12英寸）晶圓的測試和計量。KLA Spectra FX 200能夠對廣泛的晶圓厚度、材料和圖樣進行二維和三維計量。這包括臨界尺寸（CD）測量、蝕刻深度測量和叠加測量。它具有檢測晶圓上多層特征的能力，還可以測量粒徑和化學汙染物。TENCOR Spectra FX 200利用獲得專利的低壓發電機組進行高分辨率測量，從而能夠以極高的精度和分辨率跟蹤晶圓特性的微小變化。這臺機器還允許對掃描過程進行實時反饋控制。它具有先進的計算機控制平臺，可實現快速、精確的晶圓定位。THERMA-WAVE Spectra FX 200提供了多種不同的可選組件，包括自動基板裝載機、樣品傳輸機器人、用於更高掃描速度的液體冷卻、內聯映射站和集成氣體控制。它可以與幾種不同的顯微鏡集成，包括聚焦離子束和掃描電子顯微鏡。此外,Spectra FX 200工具還配備了功能強大的基於PC的軟件包,便於安裝和操作。總體而言，KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Spectra FX 200是一種功能強大且用途廣泛的晶圓測試和計量資產。它提供準確、高速的掃描功能,同時提供多層特征檢測和各種可選組件。該型號易於與其他顯微鏡集成，並配有功能強大的基於PC的軟件包，簡化了設置和操作。