二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Spectra FX 200 #9215204 待售
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單擊可縮放
已售出
ID: 9215204
晶圓大小: 8"-12"
優質的: 2005
Film thickness measurement system, 8"-12"
(2) Load ports
EFEM
UI
Insert type: Conversion, 8"
Data transfer: Floppy disk / DVD R/W
Operation: Mouse and keyboard
Door interlock
Recipe auto backup
Auto data deletion
Auto error log file save and classification
Queued loading (Queue recipe)
Spectroscopic ellipsometer
Spectrometer
Wavelength light source: 220 to 800 nm
Spot size: <30 µm (Thickness and Rl)
Spot size: <30 µm (Reflectivity)
2D and 3D Mapping function
Pattern recognition
Recipe copy with film library
SE and DBS Optics
Optic lens: 1x, 2x, 4x, 15x
Pattern score: FA
Screen
Recipe / Library import: TCP/IP (On-time intromit)
Wafer breakage: ≤1/1,00,000 Cycles
Signal tower
Options:
E30-98 Gem semi
E5-93 SECS II Semi
Recipe generator
Remote access capability
Carrier ID, 12"
E23, 12"
E84, 12"
E87, 12"
Safety shield for SO, 12"
HP 6122
HSMS Communication
Break beam mapper
Direct cable less power connection
E84 Enabled: OHT and AGV/RGV
OHT Lockout
Computer
Operating system: Windows XP
PHOENIX Handler
Controllers:
CPU: Pentium 4 3.0 GHz - P4 2.8 MHz
Memory: 1.024 GB DRAM
(2) Hard Disk Drives (HDD): 80 GB
Floppy Disk Drive (FDD), 3.5"
CD_R: 40X_8X (DVD RW)
Dongle
2005 vintage.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Spectra FX 200是一種最先進的晶圓測試和計量設備。它在半導體工業中廣泛用於測試晶片的各種參數，從電氣特性到物理缺陷。該系統能夠從半導體晶片中精確捕獲各種數據，可用於檢測缺陷、測量電性能和進行統計分析。KLA Spectra FX 200由三個主要組件組成。光學站內裝有顯微鏡、分光光度計和偏振儀，這使該單元能夠捕獲有關晶圓表面、結構和組成的詳細信息。幹涉儀單元能夠捕獲極其精確的測量值,包括表面粗糙度、外形尺寸和層厚度。最後，光譜儀站配備了一套分析儀器，可以對晶片的性能進行整體測量和分析。這臺機器具有多種功能,旨在提高準確性和縮短測試時間。它使用專有軟件和算法來加快數據分析並提供更好的準確性。內置數據庫便於存儲和調用數據,而雙波長測試可確保兩組測量之間的任何偏差均可輕松檢測到。該工具還提供了一些自動化的計量程序，旨在確保最佳測量和分析結果。TENCOR Spectra FX 200的創新設計確保了它以更少的誤差和更低的故障率提供卓越的性能。其檢測微小缺陷、測量多參數的能力令人難以置信，使其成為最可靠、最先進的晶圓測試和計量系統之一。此外,它還可以配置為適應各種晶圓大小和類型,使其適合各種不同的應用。
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