二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Spectra FX 200 #9309105 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Spectra FX 200是一種晶圓測試和計量設備，提供全面的分析，以準確可靠地測試和測量半導體器件性能。這個系統結合了幾個先進的技術來了解一個晶圓的物理特性，可以用來了解電氣性能。KLA Spectra FX 200包含一個可編程的舞臺運動單元，能夠快速準確地掃描整個晶圓，配有兩個用於精確控制的電動機和一個用於位置檢測的高分辨率編碼器。此外,該機器還包括高分辨率成像、化學計量分析以及用於精確晶圓檢測的缺陷表征功能。TENCOR Spectra FX 200中的高級光學器件能夠對小至2 µm的特征進行成像捕獲,並能夠創建晶圓表面的地形圖。該工具采用基於熱成像的高功率激光計量，快速準確地測量晶圓上的納米級特征。通過使用此先進技術,用戶可以測量層厚度、長寬比等。此外，資產的化學計量能力提供了無與倫比的精確的層高、組成和缺陷分析的計量。Spectra FX 200提供了無與倫比的精度和可靠性水平的分析工具。這些分析工具使用戶能夠收集了解半導體器件電氣和物理性能所需的數據，並以極高的信心解讀結果。此外,擴展的連接以及方便的輸入和輸出功能使數據傳輸到其他系統、數據庫和公司比以往任何時候都更容易。THERMA-WAVE Spectra FX 200的設計考慮了安全性、安全性和成本效益。這款先進的車型配備了多種保護機制，保證安全運行和免受外界影響。此外,免維護進氣凈化、可靠的空氣沖刷以及內部和外部溫度自動控制等多種功能可最大限度地降低成本,同時最大限度地提高能效。KLA的這項先進技術為測試和測量半導體器件提供了一種高效可靠的方法。KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Spectra FX 200從精確的運動控制和高分辨率成像到熱成像和化學測量能力，提供了無與倫比的精度和可靠性水平的全面分析。