二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Therma-Probe 300 #293642292 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Therma-Probe 300是一種晶圓測試和計量設備，設計用於電子和光子學工業。它提供高精度的測量與納米解析度和實時數據收集。這使得它成為先進光刻、研發、半導體制造等應用的理想解決方案。該系統能夠測試直徑不超過300 mm的晶片和測量厚度不超過1nm的晶片。它具有先進的自動化平臺,可快速加載和定位樣品,並具有精確的導航和穩定功能。其五軸機械臂可配置為拾取放置晶片或處理重型部件，從而使自動化測試序列得以快速準確地完成。此外,該單元支持自動測量具有完全可追蹤性和過程控制的大量數據。KLA Therma-Probe 300搭載了經過優化的光學機器和50毫米物鏡，提供卓越的圖像分辨率和對比度。其高分辨率CCD相機提供4-6mm的視野和高達1 nm的分辨率。該工具還支持分形和微觀計量，具有5.0米μ光斑大小和5nm精度。資產還可以使用熱成像或熱成像和光電二極管成像相結合的非接觸模式運作。這提供了熱分辨率降至1mK的高速測量。此外,該模型還具有自動計量功能,如PCD和CD-SEM、光學CD、線邊粗糙度（LER）測量、CD和CD-SEM叠加測量以及背靠背CD。總體而言，TENCOR Therma-Probe 300是各種應用的絕佳選擇。它提供了卓越的精確度和精確度、快速的數據收集以及全面的計量能力,非常適合研發、先進的光刻技術和半導體制造。