二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Therma-Probe 630 #9399013 待售

KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Therma-Probe 630
ID: 9399013
晶圓大小: 12"
Implant dosing measurement system, 12".
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Therma-Probe 630是一種晶圓測試和計量設備,用於檢查晶圓基板和塗層,使制造商能夠確保符合客戶規範。這個先進的系統使用多個溫度感應熱電偶來測量和控制攝氏幾度以內的溫度,精度± 0.2°C。KLA Therma-Probe 630具有最先進的電子設備、伺服控制和數據采集技術,便於對多個基板進行精確、可重復的測試。這一創新單元可以檢測晶圓基板的表面和地下缺陷,使其成為缺陷分析的有力工具。TENCOR THERMAPROBE 630還評估與基板損壞相關的光學特性變化,有助於檢測弱特性並揭示表面變化。用戶友好的THERMA-WAVE THERMAPROBE 630配備了符合人體工程學設計的用戶界面,允許操作員在生產過程的任何時刻進行晶圓測試和計量。直觀的界面專為直觀操作和快速設置而設計,提供了快速、方便的機器功能和結果訪問。而且,THERMA-WAVE Therma-Probe 630支持廣泛的測試模式,使其能夠輕松適應各種測試參數。這包括對光學密度、溫度和厚度的精確測量,以及對表面粗糙度和均勻度的測試。使用THERMAPROBE 630,用戶可以根據客戶的特定要求設置測試參數。Therma-Probe 630的創新特性包括高分辨率晶圓成像技術、前沿激光幹涉儀、精確熱加熱以及數據的靜態或動態分析。這為用戶提供了可重復、可靠的結果,確保了對基材和塗層的最佳質量控制測試。從特定的可用性考慮到長期的性能,KLA/TENCOR/THERMA-WAVE THERMAPROBE 630提供了無與倫比的準確性、可靠性和可重復性。
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