二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE TP 400 #293754103 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 400離子植入器&監控器是半導體工業的一種最先進的高分辨率離子植入器。KLA TP 400提供精確的電路和操作,能夠以最小的電氣和機械噪聲進行高性能的設備處理。其可調離子束參數和集成電子設備提供了無與倫比的離子劑量和精度。TENCOR TP 400具有一套全面的技術來監視和控制移動離子植入的過程，包括一個完全可定制的控制臺，具有直觀的操作員界面和用於分析任務的集成圖形用戶界面。其五軸光束掃描儀提供了最大的靈活性和精確的圖樣，具有超高分辨率的控制系統精確控制光束的大小和方向。THERMA-WAVE TP 400的光束以先進的信號處理系統為後盾，用於檢測光束的不穩定性並自動相應調整參數。TP 400提供了多種高級功能,包括帶有入射和反向散射電子探測器的高級多通道電流監視器。該監測系統結合KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 400的數據采集、分析和可視化功能,促進了高效的過程優化和絕對實時分析。KLA TP 400的集成熱電子源提供高達20 keV的高性能電子束能量，通過較厚的材料層確保受控植入。集成源還配備了改進的磁限制器和抑制器配置，提供了最大吞吐量的增加光束亮度。總體而言，TENCOR TP 400離子植入器和監控器是一種先進和創新的半導體器件處理工具。利用先進的信號處理、數據采集和可視化技術,提供精確、高精度的植入功能。從可靠的劑量設定到質量監測和工藝優化，THERMA-WAVE TP 400是高效可靠的器件處理的寶貴工具。