二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE TP 400 #293754104 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 400是一種離子植入器和監測器，設計用於離子植入過程的精確控制。這臺機器能夠提供高分辨率和精確的離子註入，以有效地制造元件，特別是微電子、TFT顯示器和太陽能電池。KLA TP 400由幾個組件組成--離子註入源、監控器、控制單元和樣品支架。離子植入源由產生特定能級離子的電子加速器產生，優化了植入材料的表面特性。源生成後,將使用監視器單元檢查過程的結果。這是用四極質譜儀（QMS）和數字發射分析（DEA）完成的。控制單元負責電子束性能參數的調整，允許對能量、植入物深度以及每通劑量的均勻性進行全面控制，控制單元還具有一套內置的安全特性，以保護被植入的物品免受過程錯誤的影響。樣品支架允許完全的定位控制，並支持各種樣本量和重量的植入。TENCOR TP 400具有便於安裝和維護的模塊化設計,以及易於操作的直觀控制軟件。該系統利用強大的計算機資源構建,以確保結果的準確性和穩定性。此外，真空絕緣室的使用提高了工藝的穩定性，並防止損壞細膩的部件。TP 400是精確控制離子植入過程的重要工具.利用其先進的技術，它能夠以最小的汙染提供可靠的結果，改善不同類型部件的生產過程。