二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE TP 500 #293699103 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 500是一種最先進的晶圓測試和計量設備。它旨在對半導體晶圓和集成電路進行電氣和光學測試。它為晶圓測試服務提供了一個集成平臺，包括晶圓探測、晶圓參數測試、排序和編程。它還為晶圓尺寸測量提供了先進的計量能力，包括晶圓形狀、平坦度和邊緣輪廓。KLA TP 500具有高速晶圓prober系統，能夠測量多種參數數據，包括Vt、Ioff、介電擊穿、平坦度、斷點、晶圓參數分布、泄漏電流。它還可以對不合規的基板進行監控。TENCOR TP-500能夠處理200 mm大小的晶片,並具有五個可選的螺頭。這提供了40MHz的最大測試速度。Prober有一個內部數據接口，能夠快速、方便地將數據傳輸到主機。TP 500的計量能力包括晶圓形狀、平坦度和邊緣輪廓的測量。采用激光幹涉法和閉環數字顯微鏡測量晶片形狀。它還利用KLA Interferometry Metrologer （TIM）進行平面度、邊緣輪廓、自旋均勻度和其他類型的尺寸測量。THERMA-WAVE TP-500還提供了一個環境分析儀，可以為輔助儀器模板晶圓。它讀取模具尺寸，整理模具，測量刺激和參數，並篩選缺陷。THERMA-WAVE TP 500具有無懈可擊的可靠性和準確性記錄。其板載數據系統監視機器性能,並在檢測到故障時向操作員發出警報。它還內置了一個自我診斷工具，可以快速識別和補救任何問題。總體而言，KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP-500是一種最先進的晶圓測試和計量資產，為測試各種半導體晶圓和集成電路提供了可靠準確的平臺。它提供了一個高速prober，與先進的計量能力，使詳細測試和跟蹤基板參數。