二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE TP 500 #293823526 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 500是一種先進的晶圓測試和計量設備，用於半導體工藝開發和故障分析。該系統提供高分辨率和準確度的晶片或模具的自動化頂面和橫截面分析。KLA TP 500利用熱成像來測量晶圓表面的電性能，而無需破壞性接觸或光學顯微鏡。此過程有助於識別小尺寸特征中的損壞和缺陷。該裝置還能夠使用非接觸式傳感器進行模具和晶圓級平坦度測量，從而能夠檢測到高達0.3 nm的地形變化。對於模具分析,TENCOR TP-500通過手動和自動模具地址轉換提供了自動模具定位功能,可輕松地從一個位置移動到另一個位置。該機采用45x45mm或90x90mm的XY級，為晶圓分析提供了全面的映射。該工具還具有高分辨率成像，具有高達0.5 µm的景深，數字圖像捕獲，自動選模，印記檢測器技術。其圖像分析工具包括先進的粒子計數、臨界尺寸測量和電氣特征分析。TP 500可以生成各種格式的計量報告，如組合摘要、故障機制分析、通過/失敗和地形報告。該資產還可以對臨界參數（如閾值、平整度、連接性和模模可重復性）進行檢查映射。此外,該模型還具有直觀、用戶友好的界面,並允許遠程設備診斷和維修。它旨在滿足RoHS法規遵從性,並以高達每小時120晶圓的吞吐量速度提供高速采樣。THERMA-WAVE TP-500是一種用於要求苛刻的半導體過程的頂級晶圓測試和計量系統。