二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE TP 630 #293636352 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 630是KLA和TENCOR制造的晶圓測試和計量設備。這種先進的系統提供了先進的多傳感器技術和智能生產控制功能的獨特組合。專為半導體制造和研究應用而設計。KLA TP 630是一個全自動單元，內建CCD探測器，自動化機械取樣處理機，智能軟件套件。它提供了廣泛的計量功能,從單傳感器測量到使用高級算法的復雜的多傳感器多維分析。它還具有獨特的多站點樣品處理模塊和精確的運動控制，用於在樣品階段精確定位基板和樣品。TENCOR TP 630采用了IEEE-1394數字成像技術和先進信號采集、處理和分析技術方面的最新進展。該工具能夠測量半導體材料的各種電學和光學特性，包括薄膜、地形和納米結構特性。它提供了一系列的計量能力，從簡單的電氣和光學測量到復雜的多維分析。THERMA-WAVE TP 630的多傳感器資產能夠測量多種性質，如表面積、厚度、電阻率和介電常數。該模型還能夠通過多個采樣區域分析樣本，準確分析復雜結構。它可以配置有各種適合不同應用的探針、晶圓幀和探針卡。TP 630還提供高分辨率成像功能，提供半導體材料的詳細2D和3D圖像。該設備非常適合測量、檢查和分析材料的各種幾何形狀和參數。它可用於材料動力學的過程監測和表征，如溫度、幹蝕刻過程或電子束光刻。KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 630提供無與倫比的性能和準確性，可以與數據采集和分析系統集成，以最大的生產力。該系統的先進設計和特點確保了準確的結果，即使在極端的工藝條件下也是如此。其強大的軟件套件使工程師和科學家能夠快速準確地分析他們的數據並做出更明智的決策。