二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE TP 630XP #293759748 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
ID: 293759748
優質的: 2006
Metrology system
Lamp housing
ANORAD Stage assy
Upper drawer
Lower drawer
Laser
(2) ASYST ISOPORT Load ports
KAWASAKI 3NX520B-A005 Robot
Aligner
Front UI
Rear UI
(4) KINETIC SYSTEMS Vibraplane
Part number:
40077-01-0055
40076-03-0055
40076-02-0055
40077-01-0055
PC
Robot controller missing
2006 vintage.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 630XP是一種多功能晶圓測試和計量設備，設計用於高精度和高速計量應用。該系統具有高性能光學器件和高質量成像，用於分析和測量樣品。它配備了一個快速可靠的AutoFocus單元，以及一個獨特的In-Sight算法來快速分析來自大型晶片的復雜設備結構。KLA TP 630XP使用自動化階段進行高效的樣本掃描,並提供三種速度來實現計量和表征應用的最佳速度和準確性。TENCOR TP 630XP的最大步長為2.5微米,可測量到亞微米級的電路特性。FP 630XP還針對不同的測試要求提供了三種照明選擇。這些包括白光、偏振光和暗場照明。TP 630XP具有高分辨率CCD攝像頭,可選擇分辨率從550 x 570到3,424 x 2,656像素。相機的圖像處理軟件可以非常精確地分析來自整個晶片的數據。機器還支持各種樣品制備材料，允許晶圓變薄、鉸鏈探測和測試前蝕刻。THERMA-WAVE TP 630XP還提供高級計量功能,允許對高度、傾斜、拐角和邊緣半徑以及其他微觀特征進行高精度測量,以進行缺陷審查和分析。此外，高級軟件包還包括用於自動設備識別、晶圓叠加和叠加測量以及臨界尺寸測量的圖像處理工具。KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 630XP經認證可用於晶圓級制造，以及用於監測石刻工藝的自動化計量。該工具與各種行業標準的等離子體蝕刻和降解工藝兼容。KLA TP 630XP具有全面的特點,旨在改進晶圓級計量、降低成本和提高產量。
還沒有評論