二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE TP 630XP #293793232 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 630XP是一種先進的激光熱成像晶片測試和計量設備。它使用紅外熱成像來測量晶片在亞微米分辨率下的電阻率，使其適用於一系列半導體生產過程。KLA TP 630XP能夠測量復雜的三維結構,而無需手動對準或測量後計算。它對用於制造半導體芯片的薄膜、特性和材料進行快速、無損檢測。晶圓用激光束照射，熱成像相機註冊的紅外線轉換為相對電阻率值，然後與一個標準相關聯。該系統快速可靠，數據采集速度高達每秒5000點，可實時提供全面分析。它具有內置的安全機制和多個警報，以提醒工作人員註意高溫等危險。該單元的報告功能允許對數據集進行近乎即時的存儲和分析。TENCOR TP 630XP可以精確測量晶片上和外任何方向的電阻率值（雙向電阻率），即使在高度局部化的非線性情況下也是如此。TP的雙向電阻率測量630XP保證準確、可重復和可追蹤的結果。此外，它的高性能圖像采集和信號分析使得它適合在深亞微米結構中進行高級測試。除熱成像能力外，THERMA-WAVE TP 630XP還包括專門的計量工具，如用於數據和參數測量的過程控制機，以及用於有效識別過程誤差的快速結果分析工具。它還包括自動對齊和穩定機制等功能,以幫助降低手動對齊成本。KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 630XP是一種高效、精確的晶圓測試和計量資產，適用於半導體行業的許多生產過程。它具有先進的熱成像和計量能力,能夠快速準確地分析復雜的三維結構,其內置的安全特性和報告能力使其成為各種晶圓測試和計量要求的可靠和安全的模型。