二手 KLA / TENCOR UV 1050 #293619569 待售

KLA/TENCOR UV 1050是為先進半導體制造而設計的晶圓測試和計量設備。它是一個全自動、高吞吐量的檢驗和計量系統，提供每個晶圓的實時數據。KLA UV 1050能夠精確地測量納米尺度特征。該單元通過使用一系列激光和視覺技術來發揮作用。這些包括激光散射測量、激光幹涉測量、白光幹涉測量、基於圖像的檢查和計量以及熒光計量。例如，激光散射法測量激光從晶圓表面的散射，允許對納米尺度特征進行幾何測量。激光幹涉測量圖像的微觀紋理的晶圓表面捕獲三維地形。白光幹涉測量膜、膜上膜和納米級分辨率膜上的地形。基於圖像的檢查測量缺陷的存在、大小和形狀。最後，熒光計量法測量晶圓表面發出的光，以檢測關鍵部件和缺陷。TENCOR UV 1050的設計使制造商能夠更容易地檢測到關鍵缺陷並控制大容量晶圓制造過程參數。其強大的光學器件允許對整個晶片進行多個設備圖像和自動掃描。高速成像機每秒捕獲四個圖像，提供快速準確的結果。該工具的基於圖像的計量功能能夠精確測量多種表面特征,包括TCD、薄膜電阻、地形、厚度測量和橫截面輪廓。此外,UV 1050還具有專有的亮場、暗場和熒光雜波減少技術,為用戶提供動態缺陷增強和更深入的檢查。總體而言，KLA/TENCOR UV 1050提供了可靠且易於使用的晶圓測試和計量資產，使其成為先進半導體設施的寶貴資產。通過將前沿成像技術與自動化和高速檢測相結合，KLA UV 1050為制造商提供了在納米尺度上精確測量、識別和控制關鍵缺陷的能力。