二手 KLA / TENCOR UV 1050 #293704464 待售

ID: 293704464
Film thickness measurement system.
KLA/TENCOR UV 1050是一種綜合性的交鑰匙設備,旨在為器件結構提供高度可靠的量子計量分析。除了對各種晶圓特性的極其通用的控制之外,它還提供了高精度和可重復性。KLA UV 1050是一個全自動的計量系統,允許用戶在無需操作員幹預的情況下分析設備結構。該單元采用獨特的、光學掃描的大視場(LFOV)成像配置,提供了前所未有的晶圓表征水平。這臺機器可以采用基於點和基於線的測繪技術,從廣泛的特征中收集數據,包括亞微米溝槽、支柱、TSV互連和其他導電路徑。它還根據百分比收縮或擴展趨勢精確地表征窄線幾何形狀。機器可以測量晶片上的精確位置、形狀、大小、粗糙度和修改間距,無需任何操作員幹預。此外,它還可以檢測到潛在的汙染,並可以近乎實時地測量任何潛在的晶圓損害。TENCOR UV 1050是一個非常高效的工具,可在一個通道內提供多個關鍵的測量步驟。這樣可以加快分析時間,從而加快產品開發速度,以滿足客戶的需求。它采用高速漂移補償技術,能夠實現超高分辨率成像的常規掃描模式和納米掃描模式。UV 1050的靈活性進一步使用戶能夠采用不同的方法進行表征,從而在單個資產中輕松地從表面評估轉換為批量評估。通過晶圓級或設備級缺陷分類和測量,確保產品產量得到優化。KLA/TENCOR UV 1050還具有一系列先進的分析功能,可提高產品質量並降低生產成本。該模型包括若幹定性和定量表征算法,以及預測和分析模型,以識別缺陷趨勢,監測過程控制和晶圓生產數據。KLA UV 1050是一種可靠可靠的晶圓測試和計量設備,在高效平臺中提供了廣泛的功能。該系統旨在提供可靠的結果,使用戶能夠更好地了解設備結構,並優化其流程以提高產量和產品質量。
還沒有評論