二手 KLA / TENCOR UV 1050 #293750635 待售
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KLA/TENCOR UV 1050是一種先進的晶圓測試和計量設備，用於實現關鍵半導體工藝參數的精確測量和監測。該系統將快速振蕩快門和激光對準技術與自動六軸級相結合，進行精確的微距配準，創建了一個先進、通用的缺陷檢測和多模強度審查單元。先進的模模跟蹤和快速的非接觸式計量等功能確保了機器能夠以無與倫比的精度和可重復性測量半導體工藝參數。該工具能夠在大功率紫外線照射下檢測晶體管、介電結構、銅互連、接觸墊和深溝等三維結構。KLA UV 1050包括先進的光學資產，其中包括10K像素UV光源，以及先進的對準模型，同時帶有編碼器和舞臺控制器，由板載計算機指揮。使用CCD相機捕獲數據,具有12位捕獲分辨率、不到1毫秒的圖像捕獲速率和高精度對焦。設備包括許多確保準確性的功能,包括自動對準和跟蹤、內置視覺傳感器、手動和自動閾值設置、圖像捕獲預覽以及高級測量、分析和報告功能。系統的自動化操作也可以編程為運行自定義應用程序，如流程優化和缺陷位置評估。TENCOR UV 1050設計方便操作,需要最少的設置和操作員幹預.利用先進的光學設備、集成的UV光源和直觀的用戶界面,該設備能夠快速識別出微妙而具有挑戰性的缺陷,並為用戶提供準確、可靠的數據,用於過程控制和提高產量。
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