二手 KLA / TENCOR UV 1050 #293759835 待售

KLA/TENCOR UV 1050是一種先進的晶圓測試和計量設備,它為半導體晶圓制造過程控制和在線計量提供了無與倫比的精度、重復性和可追蹤性。配備了硬X射線、光學散射法、光度法、拉曼光譜等技術，該晶片測試計量系統旨在測量和驗證晶片表面平整度、蝕刻深度、摻雜濃度、CD均勻度等關鍵工藝參數的均勻性。KLA UV 1050旨在為100 nm以下的幾何形狀提供最高的測量精度。該設備具有10nm的分辨率和0.5nm的可重復性精度。憑借其獲得專利的垂直掃描技術，該機器被設計為在晶片上提供卓越的精度和均勻性，沒有材料寬度或材料類型的限制。此外，它的高精度水平掃描消除了與光學元件的線性或非均勻性相關的誤差。TENCOR UV 1050是一種交鑰匙計量學解決方案，既可用於前端晶圓加工線，也可用於後端計量學實驗室。采用模塊化設計，可支持高吞吐量的應用，每次測量最多2個晶圓，高精度的應用，最多8個晶圓測量的可重復性。除了自動測量各種關鍵工藝參數外，該工具還包括各種智能功能，如自動象限對準和自動原位晶圓自校準。UV 1050的用戶界面是為簡單易用而設計的，而其高級分析則是為晶圓處理和計量工程師量身定制的。所有數據都以標準ASCII、CSV、SQL或其他數據庫格式存儲,從而易於與現有系統集成。為了確保數據的準確性,資產有一個內置的可追蹤性程序,用於跟蹤模型驗證,以進行平面測量、性能、維護活動和設備校準。該系統與多種基板兼容，如矽、玻璃、聚合物和雜種，以及幾種操作模式。憑借KLA/TENCOR UV 1050的實惠成本和創新，它是那些希望優化產量和材料研究的人的完美計量單位。