二手 KLA / TENCOR UV 1050 #9152999 待售
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ID: 9152999
晶圓大小: 8"
優質的: 1996
Film thickness measurement system, 8"
(1) Process chamber
Summit software version: 2.23.05
FTML Version: 3.13.02
1996 vintage.
KLA/TENCOR UV 1050是一種晶圓測試和計量設備,設計用於對各種晶圓類型和尺寸進行半導體器件測量。該系統采用最新的HDx缺陷檢測技術,它將四次分辨率成像與高級算法處理相結合,以檢測晶圓上的最小缺陷。該單元還提供3D計量功能,允許進行關鍵的過程步驟分析。KLA UV 1050專為後端處理環境而設計,其靈活的設計支持一系列示例類型、大小和配置。它配備了具有254 nm紫外線光源的雙光束成像機,非常適合檢查和識別非常小的缺陷。該工具提供全面的缺陷檢查和測量,從現在到現在都不存在的測量到更復雜的覆蓋、側壁和臨界高度測量。TENCOR UV 1050還配備了多項先進的計量能力,包括3 D叠加、表面粗糙度和步高測量能力。此外,資產的快速測量速度和內存允許快速和準確的過程控制.該模型還提供直觀的軟件,使用戶能夠輕松地配置和自定義他們的測量過程和設置。UV 1050為半導體器件制造商提供了許多好處,包括更快的周期時間、更低的擁有成本、更高的過程控制以及改進的缺陷分析功能。此外,設備的高級HDx技術可實現更精確的缺陷檢測,並提供了生成更易於分析的高對比度圖像的額外優勢。總體而言,KLA/TENCOR UV 1050是晶圓測試和計量的理想工具。它提供了許多高級功能,包括HDx缺陷檢查、3D計量功能和直觀軟件。該系統非常適合後端處理環境,使制造商能夠從增加的過程控制、更快的周期時間和改進的缺陷分析功能中獲益。
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