二手 KLA / TENCOR VM 1020 #9293536 待售

KLA/TENCOR VM 1020是一種晶圓測試和計量設備，設計用於缺陷審查、測量和分析。該系統基於符合人體工程學、高度可調的檢測平臺，最多支持四個工藝模塊，每個模塊都有自己的光學、電子和自動化功能。該設備能夠處理一系列晶圓尺寸和形狀,包括標準和非標準尺寸及配置。KLA VM 1020配備了先進的光學器件，包括傅立葉變換紅外（FTIR）成像、大功率成像、共焦顯微鏡、數字圖像關聯（DIC）和自動對焦校準。該單元還具有自動掃描、粒子檢測和分析以及在多層基板上精確放置缺陷的功能。雙光束激光幹涉測量、全向顏色編碼缺陷映射、測試數據「落差」等特點，確保了可靠的計量結果。該機器具有一整套實用程序和功能,包括增強的數據安全性、密碼保護的訪問、深入的故障排除和可聯網的軟件。軟件開發工具包可供經驗豐富的用戶自定義工具參數,從而能夠進行更深入的分析。適用於廣泛的應用，包括半導體生產、芯片測試、光刻和生物醫學研究。TENCOR VM 1020設計用於晶圓和基材的快速、準確和可重復的測量。其先進的技術和直觀的用戶界面使設備易於使用，甚至對於初學者來說也是如此。它靈活的設計和配置選項使其成為任何過程中質量或研發項目的理想選擇。