二手 KLA / TENCOR VP 10 #9226132 待售
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KLA/TENCOR VP 10晶圓測試和計量系統是一種通用、高性能、極精確的半導體材料評價和表征工業計量儀器。KLA VP 10是一種先進的渦流檢測工具,使用激光幹涉儀測量晶圓表面的物理性質,如步高、粒子結構、缺陷密度等。基於攝像機的集成光學顯微鏡允許高分辨率的過程監測和缺陷診斷。利用快速數據分析和報告能力進一步優化了該儀器的自動化操作。TENCOR VP 10的核心是精密制作、經過全面測試和高度可靠的激光幹涉儀。這種幹涉儀利用低相幹性、單頻激光與高分辨率相機陣列耦合。然後,系統測量晶片表面的光路長度,提供令人難以置信的精確的地形輪廓。VP 10的激光幹涉儀的一個優點是它能夠測量超薄層和薄膜的性質,例如光刻膠和晶圓的稀釋過程。KLA/TENCOR VP 10作為晶圓測試的多合一解決方案,也支持一系列先進的計量工具。這些工具使儀器能夠高精度地測量臨界尺寸、缺陷密度和圖案特征的均勻性。它還具有廣泛的樣品持有者,可以輕松容納不同大小和形狀的樣品。最後,KLA VP 10的高級數據分析軟件提供了對多個晶片的全面而精確的趨勢分析,為分析長度數據和降低制造成本提供了強大的工具。TENCOR VP 10是一個尖端的晶圓測試和計量工具,提供高精度的測量和廣泛的強大的計量工具。這使得它成為各種行業的理想儀器,從半導體器件制造商到微電子工廠。它是一種可靠、高效的工具,可以深入了解晶片和薄膜的物理特性,使其成為任何希望優化生產的企業的寶貴工具。
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