二手 KLA / TENCOR XP2 #293814733 待售

KLA/TENCOR XP-2是一種晶圓測試和計量設備，用於半導體生產線，以保證質量和提高產量。它設計用於300 mm晶圓的快速、全面、無損的晶圓測量。KLA XP-2系統采用各種晶圓表面掃描技術，如光學或輪廓非接觸計量測量，以快速準確地產生可靠的晶圓測量。光學掃描臂用於生成快速、定量的亮場或暗場成像，以捕捉邊緣保真度、表面地形、平面度、平面度、鋸齒缺陷、線或空間寬度、臨界尺寸誤差以及其他與晶圓參數相關的因素。數據可以轉換為高度詳細的3-D模型，以便進一步分析。除了光學系統外，TENCOR XP-2還具有臨界尺寸信道站和線寬或邊緣輪廓站等先進的計量能力。這些計量工具使用精確的空氣軸承掃描來快速準確地測量臨界尺寸或線寬和邊緣輪廓。該型號還配備了先進的缺陷檢測能力，可用於檢測顆粒缺陷、晶體缺陷以及其他表面不一致。為了準確檢測和識別晶圓表面的粒子缺陷，設計了粒子缺陷檢測裝置，以高通量生成非常高分辨率的缺陷圖像。此外,XP-2還配備了一套廣泛的過程、測試和產量分析工具。它可以精確測量晶圓處理時間、晶圓摻雜、加載誤差或每晶圓屈服損耗等關鍵參數。它還可以幫助確定由於產量損失或測試時間效率低下而造成的過高成本。KLA/TENCOR XP-2是一臺功能強大、可靠的晶圓測試和計量機器,為半導體制造商面臨的許多問題提供數據驅動解決方案。除了先進的缺陷檢測和工藝分析功能外，它還提供精確的晶片表面掃描，用於精確的晶片測量。其先進的特性使半導體制造商能夠顯著降低晶圓生產成本，提高產量。