二手 KLA / TENCOR Zeta 20 ZFT #9307818 待售

KLA/TENCOR Zeta 20 ZFT是一種晶圓測試和計量系統，為生產規模的晶圓檢測、分析和缺陷檢測提供準確、精確的數據。它結合了先進的檢驗和計量工具，為半導體制造的高產率提供了可靠的結果。KLA Zeta 20 ZFT的核心部件包括功能強大的圖像數字化、定量模式識別、高分辨率數碼相機以及先進的晶圓映射能力。數字化設備根據光強度高精度測量缺陷，模式識別算法識別缺陷投影，攝像機提供高分辨率圖像，從而準確確定缺陷。先進的晶圓映射功能允許實時映射晶圓表面，並用於確定晶圓的最佳取向以獲得良好的檢測結果。TENCOR Zeta 20 ZFT提供了多種實時掃描和計量選項,包括自動比較/自動分析、精密分析、隨機缺陷檢測、臨界尺寸測試和Z誤差過濾。「自動比較/自動分析」功能提供快速缺陷映射,以確定關鍵尺寸測量的最佳位置。Precision Analysis模式通過創建樣品切片的高分辨率圖像提供快速、準確的缺陷檢測。隨機缺陷檢測利用一種算法自動檢測和分類晶圓上的隨機缺陷。最後,臨界尺寸測試為復雜陣列提供高精度測量,以確定特征的臨界尺寸。此外,Zeta 20 ZFT利用高級Z-Riror過濾檢測和過濾出任何有害信息,如統計變化、交叉晶片效應、電幹擾和晶片上的噪聲。與早期的技術叠代相比,這確保了高精度的結果。綜上所述，KLA/TENCOR Zeta 20 ZFT是一種功能強大的晶圓測試和計量系統，旨在確保半導體制造的高產率。它融合了尖端圖像數字化、模式識別、數碼相機以及先進的晶圓映射技術，以提供準確的結果。它還提供許多掃描和計量模式，以滿足不斷變化的生產需求。最後，先進的Z-Reror過濾技術進一步提高了數據精度。