二手 KLA / TENCOR Zeta 20 #293779066 待售
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KLA/TENCOR Zeta 20是一種先進的晶圓測試和計量設備,設計用於半導體晶圓的精確質量檢驗。它采用專利的非接觸式光學旋轉電動機(NORM)技術,能夠在晶圓表面和邊緣進行高效的高速測量。該系統能夠檢測到0.2 µm以下的特征大小,使用戶能夠在制造過程中控制和監測晶圓的形成,並測試汙染。該單元在檢查時使用高效、精確的光學定位裝置來旋轉晶片。這樣可以精確測量特征的長度和寬度。電機能夠在任一給定點的晶片兩側提供多達400系列的多次測量。它還包括一個增強型發光二極管(LED)陣列,提供目標表面的均勻照明,用於精確成像。機器還包括一個精確的過濾階段,允許精確檢測晶圓形狀和表面粗糙度等關鍵參數。所有結果都可以在工具的用戶友好圖形顯示中查看。該資產的設計非常可靠,能夠產生可重復的結果。它還設計用於與標準計量系統交互,允許不同儀器之間的數據傳輸。該型號還具有一系列自動化功能,包括對比度變化檢測和自動報警設置。這有助於提高效率和提高準確性,方法是在檢測到的值超出指定範圍時自動通知用戶。KLA Zeta 20設備是半導體晶圓檢測和計量的強大可靠工具。其準確性和自動化功能有助於提高半導體器件的生產率和改善質量控制。
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