二手 KLA / TENCOR Zeta Scan 280 #293597954 待售
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ID: 293597954
Wafer inspection system
Laser spot: 405 nm
High speed scanning optics
Motorized XY Stage, 8"
LCD Color monitor, 30"
Nominal: 2560 x 1600 pixels
Wafer handler, dual arm
Light tower
(4) Cassette locators for 4/6"
ULPA Filter
OCR For backside wafer ID reader
Exhaust RFE
GEM / SECS
HSMS
PC Controller:
Operating system: Windows 7
Processor: 64-bit Intel Core 2 Duo
RAM: 64 GB
Hard Disk Drive (HDD): 500 GB
Data acquisition cards.
KLA/TENCOR Zeta Scan 280是一種高性能的自動化晶圓測試和計量設備,專為在半導體工業計量任務上具有獨特用途的應用而設計。該系統提供廣泛的4"、6"和8"晶圓測試能力,確保晶圓測試和數據分析過程中的高精度。Scan 280配備了兩個激光傳感器,允許同時測試晶圓的背面及其正面,以及數據分析。傳感器由激光觸發器激活,並在檢查晶片時相互跟蹤,為從晶片中檢索準確數據提供了一種快速可靠的方法。該設備先進的光學成像技術提供了廣泛的分辨率選項,能夠獲得重要的細節,使工程師能夠對晶圓測試數據進行有意義的分析。借助先進的圖像采集機和極其快速的激光掃描工具,此資產可以以非常高效的方式獲取和分析2D、3D和4D數據。KLA Zeta Scan 280使用智能機械臂在整個測試過程中運輸晶圓。這種機械臂配備了一套專有的安全特性,能夠進行錯綜復雜的運動,使其能夠準確地掌握和評估不同尺寸的晶圓,以及避免汙染物。此外,晶圓傳輸模型確保正確聚焦和捕獲圖像,以獲得所需的結果。為了提供高精度,TENCOR ZETASCAN 280設備還附帶了多種額外的防護安全機制。它配備了非接觸式極限開關,防止晶片在運輸過程中處理不當,並能確保設備在發生意外電源故障時保持安全。此外,該系統還配有一個內部氧氣保護單元和一個集成的激光屏蔽裝置,在操作過程中保持激光的安全。KLA/TENCOR ZETASCAN 280是一臺功能強大且先進的晶圓測試和計量機器,為滿足半導體行業的需求而設計和建造。該工具能夠精確測試晶片並檢索有意義的數據分析,其詳細程度可以為成功和高質量的半導體生產帶來不同。
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