二手 KLA / TENCOR Zeta Scan 280 #9293267 待售
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KLA/TENCOR Zeta Scan 280是一種晶圓測試和計量設備,用於監測微電子器件的制造,包括半導體芯片、薄膜和平板顯示器。它是一種高分辨率成像系統,旨在測量參數,如表面地形、薄膜厚度、模具高度和晶片基板上的應力。KLA Zeta Scan 280是基於最先進的共焦顯微鏡的光學單元,配備了先進的對比度靈敏度和擴展的景深能力。它具有5軸級機器,用於快速、精確的晶圓處理。直觀的圖形用戶界面允許用戶在一個方便的位置控制晶圓位置、圖像捕獲和設置。TENCOR ZETASCAN 280利用光源、透鏡和濾鏡來捕獲晶圓的圖像,然後將其數字化。對掃描圖像進行了算法分析,提取了表面高度、模具高度、薄膜厚度、應力等數值。可以對數據進行操作,以報告的形式生成結果的表格顯示。KLA ZETASCAN 280支持各種計量技術,包括亮場、暗場以及光譜成像。掃描速率高達60圖像/秒可實現基板參數的無損高速測量。Zeta Scan 280是一種功能強大的晶圓測試和計量工具,提供先進的成像功能和高速數據采集功能,用於監控高度復雜的微型設備的制造。其令人難以置信的精確成像功能、直觀的用戶界面以及無與倫比的精確度,使其成為半導體制造商的理想選擇。
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