二手 KOBELCO / LEO LER #293642527 待售

ID: 293642527
Edge roll off measuring system Display types: 2D / 3D.
KOBELCO/LEO LER是一種用於半導體的高科技晶圓測試和計量設備。該系統旨在在晶片制造過程中對晶片進行精確分析和檢測。它利用尖端技術對晶圓進行高精度測量,並確保盡可能高質量。LEO LER使用各種計量測量的組合,如色控、幹涉測量和掃描電子顯微鏡。色控測量樣品的顏色,允許識別和檢測晶片上的任何缺陷。幹涉測量法使用旋轉鏡幹涉光波,允許分析晶圓的表面地形。同時,掃描電子顯微鏡是一種利用電子形成晶圓成分圖像的成像技術。此外,KOBELCO LER單元能夠對整個晶圓表面進行3D成像。這是通過結合所有的計量測量和從掃描收集的數據來完成的。然後機器能夠檢測晶片上存在的缺陷、表面異常和不同的材料。它還可以測量特征的厚度和方向,如閘門和間隔線。此外,LER還實現了許多高級功能,以確保高精度和可靠性。例如,該工具利用自動缺陷檢查功能,使操作員能夠實時監視過程。此外,還采用了全面的晶圓身份識別資產,以確保一致的結果和準確性。總體而言,KOBELCO/LEO LER是一個非常先進的模型,它提供了對半導體晶片的全面和準確的分析。憑借其強大的計量測量陣列和先進的特點,該設備為用戶提供了一個可靠和準確的測試和檢查晶片的手段。
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