二手 KOBELCO / LEO LTA #293642502 待售

KOBELCO/LEO LTA設備是一種最先進的晶圓測試和計量系統，旨在測量半導體晶圓的幾何和電氣特性。其主要應用是驗證符合規範和保證工藝穩定性，以及提供關於晶片到晶片變化的全面信息。該單元配備了兩個級，同時測量晶片的幾何特征（表面紋理和厚度）和電氣參數（電阻率和絕緣性）。第一階段對晶片進行多達16次物理測量，包括表面輪廓、尺寸和非導電材料，如氧化物或其他絕緣層。第二級對晶片進行精確的電氣測量，包括接觸電阻和絕緣電阻。該機器采用了獲得專利的雙重測試方法，允許對晶圓的幾何和電氣特性進行實時數據評估。這樣可以進行高吞吐量測試,減少測試時間並節省寶貴的生產時間。此外，該工具能夠自動檢測缺陷和微小的變化，幫助生產者保持過程的穩定性。設計了資產的可重復性和精確度。所有測量都是可重復和精確到微米內。該模型的精確可重復性也使晶片堆叠不影響測量精度。通過特殊算法進一步提高了設備的精確度，使接觸電阻測量達到了piciohm尺度。LEO是一個高效但功能強大的晶圓測試和計量系統。利用它的雙重測試方法和精確的重復性，這個單元可以快速和準確地測量晶圓的幾何和電氣特性。這樣可以確保過程的可重復性,並能夠更好地控制生產。此外,該機器的設計目的是通過只需一次通行證即可獲得準確的結果,從而最小化生產時間。